对于制作LED芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题.应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和LED器件的要求进行选择.三种衬底材料:蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC).
目前在LED行业中,蓝宝石应用较为广泛,其优点如下:
1.生产技术成熟、器件质量较好 ;
2.稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;
3.机械强度高,易于处理和清洗.
在工艺过程中,需要对产品的前段工艺进行追溯,那就需要在衬底中进行刻号的动作.华之尊提供的先行者ILS-3NM激光刻号机有如下优势:
1、有效雕刻面积大,能够一次性针对多片Wafer进行雕刻,有效的提高生产效率.
2、在幅面范围内激光束始终垂直于雕刻物体,光斑大小一致,确保在有效雕刻幅面内每一片Wafer字体清晰.
3、领先业界的聚焦镜配置,是细微字体雕刻的保证.
4、针对细微雕刻进行了优化,速度及功率调节精确到0.1,雕刻字体细小,清晰;并且能够有效控制雕刻深度,不会引起雕刻过程中或后续工段中Wafer碎裂.
先行者ILS-3NM整机历经多代改良,性能可靠稳定.以成熟、稳定、人性化设计而享誉行业,为LED行业的最可靠最安全的首选机型,现已在国内外各大衬底、外延、芯片生产企业中广泛使用并获得广大客户的一致好评