触摸屏材料核心生产技术之ITO导电膜蚀刻

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前言:触摸屏( 电阻,电容)材料:ITO导电膜,ITO玻璃,OCA光学胶,油墨,HC PET,钢化玻璃,银浆等。
 
      ITO导电膜产生工艺要求严密,生产中核心技术之一是使用雷射干式蚀刻机(激光蚀刻机)进行蚀刻。
      ITO导电膜是指采用磁控溅射的方法(ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是反应磁控溅射法),在透明有机薄膜材料上溅射透明氧化铟锡(ITO)导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。ITO膜层的厚度不同,膜的导电性能和透光性能也不同。一般来说,在相同的工艺条件和性能相同的PET基底材料的情况下,ITO膜层越厚,PET-ITO膜的表面电阻越小,光透过率也相应的越小。
  以下是两种不同的PET-ITO导电膜的参数:
  高阻抗ITO导电膜(PET-ITO)
   高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。
   产品参数:
  面电阻:300~500 Ω/□
  面电阻均匀性:MD≤±3%,TD≤±6%
  薄膜厚度:0.188±10%
  线性度(MD):≤1.5%
  全光线透过率:≥86%
  表面硬度(铅笔硬度):≥3H
  热稳定性:(R-R0)/R: ±20%
  热收缩率:MD≤1.0%,TD≤0.8%
  加热卷曲:≤10mm
  低阻抗ITO导电膜(PET-ITO)
  低阻抗ITO导电膜可用于对导电性能要求比较高的领域,如:用于薄膜太阳能电池的透明电极、电致变色器件的电极材料、薄膜开关等领域。
   产品参数:
  薄膜厚度:0.175±10 mm
  雾度:<2%
  宽度:406/360±2 mm
  粘附:100/100
  卷曲:≤10 mm
  透过率:≥ 80%
  表面电阻:90±15 Ω/□
  面电阻均匀性:<7%
  热收缩:MD≤1.3,TD≤1.0
  热稳定性:
  高温:80oC,120hr ≤1.3
  低温:-40oC,120hr ≤1.3
  热循环:-30oC—80oC ≤1.3
  热/湿度: 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3